金融界2024年12月4日消息,國家知識產權局信息顯示優發,淮安捷泰新能源科技有限公司申請一項名為“一種LPCVD氣路優化管道”的專利,公開號CN 119061375 A,申請日期為2024年8月優發。
專利摘要顯示用你的指尖擾亂我吧2用你的指尖擾亂我吧2用你的指尖擾亂我吧2優發,本發明涉及LPCVD系統技術領域,具體為一種LPCVD氣路優化管道用你的指尖擾亂我吧2,包括硅烷管道,所述硅烷管道的一端安裝有氣動閥一,硅烷管道的一側連通有旁路管道優發,旁路管道遠離硅烷管道的一端安裝有氣動閥二用你的指尖擾亂我吧2優發,硅烷管道和旁路管道之間安裝有閥門,硅烷管道上安裝有用于阻擋硅粉吹向氣動閥一的分隔組件;所述分隔組件包括與硅烷管道聯通的橫管,橫管的內壁開設有兩個軌道槽優發,軌道槽內滑動連接有滑塊用你的指尖擾亂我吧2,滑塊延伸至軌道槽外部的一端安裝有根據硅烷管道和氣動閥一的工作情況靈活調節開閉的管道封堵組件用你的指尖擾亂我吧2。解決了現有的LP氣路吹掃系統容易將管道內的硅粉帶動經過硅烷流量計優發,造成流量計粉塵污染,從而使流量計輸出異常,造成蝶閥異常的問題用你的指尖擾亂我吧2。氣動腰鼓閥,優發,優發國際網官網在線!